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Deutschen Zukunftspreis für neue Chip-Generation

Stärkung des Innovationsstandorts Deutschland

bpra - Die beim Zukunftspreis vorgestellten Projekte belegten einmal mehr, welch herausragende Innovationskraft in Deutschland steckt. Durch die Nutzung von Licht im extremen Ultraviolett (EUV) hat das Sieger-Team die in der Chipfertigung etablierte Methode der optischen Lithographie auf eine neue Stufe gestellt.

Im vergangenen Jahr haben Staat und Unternehmen so viel Geld wie noch nie in Forschung und Entwicklung investiert: insgesamt 110 Milliarden Euro. „Wirtschaft und Staat müssen aber weiter investieren, Deutschland als leistungs- und wettbewerbsfähigen Forschungs- und Industriestandort zu stärken, z.B. in der Medizin- und Biotechnologie, der Pharmaforschung und der Entwicklung besserer Technologien für den Klimaschutz", so Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier.

Neue Chip-Generation möglich

Das Sieger-Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung einer Technologie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile in einer bisher nicht gekannten Dimension fertigen lassen. Durch die Nutzung von Licht im extremen Ultraviolett (EUV) haben die Wissenschaftler die in der Chipfertigung etablierte Methode der optischen Lithographie auf eine neue Stufe gebracht. Entstanden ist ein optisches System aus Spiegeln mit einer besonderen Beschichtung. Ein weiterer Bestandteil ist der derzeit stärkste industrielle CO2–Laser, mit dem das Plasma für die EUV-Strahlung erzeugt wird. Bei der Preisverleihung überreichte der Bundespräsident den Entwicklern Dr. rer. nat. Peter Kürz, Dr. rer. nat. Michael Kösters und Dr. rer. nat. Sergiy Yulin den mit 250.000 Euro dotierten Zukunftspreis 2020.

Auf die neu entwickelte Weise lassen sich Mikrochips herstellen, die besonders leistungsfähig, energieeffizient und kostengünstig sind. Die Mikrochips dieser neuen Generation werden von den führenden Herstellern von Smartphones und Halbleiterprodukten bereits eingesetzt. Es ist absehbar, dass sich ihre Anwendung in den Bereichen der Informationstechnik als Standard etablieren wird.

Dr. rer. nat. Peter Kürz ist Vice President Geschäftsbereich EUV High-NA bei ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology in Oberkochen, Dr. rer. nat. Michael Kösters Gruppenleiter bei TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing in Ditzingen und Dr. rer. nat. Sergiy Yulin ist Senior Principal Scientist am Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena.

Der Bundespräsident würdigt mit dem Deutschen Zukunftspreis herausragende Forschungs- und Entwicklungsprojekte. Wesentlich für die Entscheidung der Jury sind der wissenschaftlich-technische Innovationsgrad sowie das Potenzial, diese Leistung in zukunftsfähige Arbeitsplätze umzusetzen.

Ebenfalls für den Deutschen Zukunftspreis 2020 nominiert waren:

Prof. Dr. med. Andreas Raabe, Inselspital Bern, Universitätsklinik für Neurochirurgie, Bern, Schweiz, Dr.-Ing. Michelangelo Masini und Frank Seitzinger, MBA, Carl Zeiss Meditec AG, Oberkochen, für ihr „Robotisches Visualisierungssystem – Effizienz für die Mikrochirurgie“.

Bis in die Endrunde geschafft hatten es auch Dipl.-Ing Friedbert Scharfe, Franken Maxit Mauermörtel GmbH & Co., Kasendorf, Prof. Dr.-Ing. Thorsten Gerdes, Universität Bayreuth, Keylab Glastechnologie, Bayreuth, und Dr. rer. nat. Klaus Hintzer, Dyneon GmbH, Burgkirchen, mit ihrem Projekt „Spritzbare Fassadendämmung mit Glass Bubbles – nachhaltige, energieeffiziente Isolation von Gebäuden". Sie wurden von Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier mit einer Urkunde geehrt und durch die Jury in den „Kreis der Besten" des Deutschen Zukunftspreises aufgenommen.

Weitere Informationen zu allen Arbeiten sowie Bild- und Videomaterial finden Sie hier:

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Bundespräsidialamt
Spreeweg 1
10557 Berlin
T.: 030 – 2000 – 0
bundespraesidialamt@bpra.bund.de



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Nominiert für den Zukunftspreis des Bundespräsidenten: Team 1EUV- Lithographie – neues Licht für das digitale Zeitalter (v.l.n.r.) 
Dr. rer. nat. Sergiy Yulin (Fraunhofer Institut IOF), Dr. rer. nat. Peter Kürz (Carl Zeiss) und Dr. rer. nat. Michael Kösters (TRUMPF)
Quelle: Zukunftspreis
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